依据范德堡法则,测量材料的电运输性能、主要参数,如载流子浓度、迁移率、电阻率、霍尔系数等,薄膜或薄层材料均可测量。
快速退火炉RTP(Rapid Thermal Processing)在多个领域具有广泛的应用,特别是在材料处理方面。以下是RTP快速退火一些主要的应用材料: 1.半导体材料- 硅(Si):广 ...
快速退火炉 ( RTP,Rapid Thermal Processing)采用红外辐射加热及冷壁技术,可实现对1-12寸材料的快速升降温,同时搭配高精度的温度控制系统,可达到高温场均匀性。 ...
RTP(Rapid Thermal Processing)快速退火炉在多个领域有着广泛的应用,是现代半导体工业和其他新型材料工艺领域的重要设备。以下是RTP快速退火炉的主要应用领域: 1、半 ...
中国科学院半导体研究所快速退火炉
广州金升阳-快速退火炉验收
清华大学薄膜热电参数测试系统
上海交通大学薄膜热导率测试系统
国防科技大学霍尔效应测试仪
北京化工大学Namirco-3