晶圆探针台

产品介绍 晶圆温探针台为小尺寸样品测量电特性提供高精度可控测量环境。 应用功能 基本测试 保护气氛电路测试 高低温真空探针台 超高频探针台 光电流分析 FA失效分析 晶圆器件性能 … … 产品特点 探针台可实现精准可靠的测试与测量分析，帮助精准测量和分析判断晶圆器件的性能，包括提供材料/器件的IV/CV特性测试、LD/LED/PD的光强/波长测试，射频特性器件失效分析，芯片内部线路/电极/PAD测试等技术解决方案 技术参数 设备系列 LNP-3RT LNP-3RT 温度范围 常温 -190~400℃ 控温精度 – ±0.1℃（>-120℃）±0.5℃（…