产品介绍 RTP快速退火炉系列产品，采用红外辐射加热及冷壁技术，可实现对实验材料的快速升温和降温，同时搭配超高精度的温度控制系统，可达到极佳的温场均匀性，对材料的快速热处理、快速退火、快速热氧化、快速热氮化及金属合金化等研究和生产工作起到重要作用。广泛应用于高校、科研院所、第三方检测机构、半导体制造企业等。 应用功能 快速热处理(RTP)、快速退火(RTA)、快速热氧化(RTO)、快速热氮化(RTN) …… 薄膜沉积后退火 合金化退火 低介电材料热处理 热疲劳循环测试 离子注入退火 热扩散、致密化 化合物半导体退火 合金熔点分析 电极接触退火 结晶、烧结 多晶硅退火 耐热性测试 去应力退火 氧…
RTP快速退火炉以其快速升降温能力和高度的温度均匀性，在金属/SiC欧姆接触的制备过程中展现出了高稳定性。通过精准调控退火工艺参数，RTP能够快速激活金属与SiC界面处的化学反应，促进“化合物降低势垒”或“碳空位减薄势垒”机制的发生，从而显著提升欧姆接触的稳定性。 RTP快速退火炉和普通管式炉制备SiC芯片的性能对比 实验数据表明，采用嘉仪通RTP快速退火炉制备的SiC芯片，在I-V测试中展现出了完美的线性特征，这是欧姆接触形成的直接标志。同时，其接触电阻极低，远低于50 Ω，充分证明了RTP技术在提升欧姆接触质量方面的卓越性能。 相比之下，传统的管式炉等退火设备，难以达到理想的效果。由于升降…
2024年6月23日，一场设备验收仪式在北京大学电子学院举行，嘉仪通公司的1吋快速退火炉在此成功通过并得到了该校的正式验收。 以下为设备验收报告： 北京大学是有名的高等学府，此次采购的退火炉是用于半导体材料快速退火科研，对于设备的验收有着严格的标准和要求。交付的1吋快速退火炉，凭借其优秀的温度均匀性，控温精度以及快速升降温的速率等特点，得到了学校的高度认可，达到了学校对学术研究的需要。 快速退火炉RTP，是采用近红外辐射加热及冷壁技术，可实现实验样品的可控快速升温和降温，完成特定条件下的热处理工艺，同时可通过定制观察窗口，方便进行功能扩展，适合高校、科研院所、企业实验室等使用。 快速退火炉广泛…
2024年5月11日，东北师范大学成功完成了一台由嘉仪通精心研发与制造的4吋快速退火炉的验收流程。此次验收的顺利通过，不仅彰显了嘉仪通产品的卓越品质，更意味着嘉仪通与东北师范大学的合作自此迈向全新高度 。 严格把关，成果斐然 东北师范大学此次采购的退火炉主要应用于半导体材料快速退火领域的科研工作。鉴于科研工作的严谨性与专业性，学校对该设备的验收设定了极为严格的标准与要求。交付的这台4吋快速退火炉表现卓越，凭借出色的温度均匀性、精准的控温精度以及快速的升降温速率等显著优势，获得了学校的高度赞誉与认可，完全契合学校在学术研究层面的严苛需求。 核心产品，应用广泛 快速退火炉作为嘉仪通的核心产品之一，…
2023年6月8日，江苏敏而精密科技有限公司迎来了一场备受瞩目的设备验收仪式。在这场仪式中，嘉仪通公司移交的8吋快速退火炉成功验收，正式成为企业的重要装备。 此次验收的8吋快速退火炉，是江苏敏而精密科技有限公司为满足材料快速退火科研需求而精心选购的。该设备凭借其优秀的性能，在温度均匀性、控温精度以及快速升降温速率等方面均达到了企业的严格要求，得到了公司技术研发团队的高度认可。 以下为江苏敏而精密科技有限公司8吋快速退火炉的设备验收报告： 8吋快速退火炉是嘉仪通公司的明星产品之一，它采用红外辐射加热技术，能够快速实现样品的升温和降温。同时，搭配高精度温度控制系统，确保了温场的均匀性，为材料的快速…
