产品详情
产品介绍
TC-Wafer校准仪，一款专注晶圆温场均匀性测量校准的辅助仪器。适配各类 RTP快速退火炉MOCVD、磁控溅射、刻蚀机、涂胶显影机等需要关注热均匀性测量的相关设备，特殊情况可按需定制。
应用功能
半导体制造工艺调校、RTP设备的测试验证、TC-Wafer的测试验证、相关晶圆热处理设备的测试验证,如CVD,PVD,Photo,等等 ……
产品特点
测温准确 温度偏差在±1.1℃以内、采集周期为200ms，能准确测量晶圆温场均匀性；
使用便捷 仪器集成度高，即插即用。测试记录完整数据，并能自动生成测试报告，支持U盘、蓝牙、无线网络等多种方式导出数据和报告；
显示直观 最多支持20路实时测量(20路以上可定制)，显示实时点位图及温度分布图，可在使用过程中实时观察各点温度变化；
功能强大 10000条历史数据存储量，能以图表形式调阅历史温度和均匀性数据。可做同一台设备不同时间段、以及不同设备同一配方的数据对比；
便携易维护 便携一体化设计，配备磁吸支架可贴靠于RTP表面， Type-C接口65W速充，可迅速更换TC-wafer。
技术参数
| 设备系列 | TC-20 | TC-10 |
|---|---|---|
| 使用范围 | 室温~ 900℃(更高温可定制) | |
| 晶圆尺寸 | 6吋 ~12吋 | 2吋 ~12吋 |
| 热电偶测温点数 | 1 ~ 20 | 1 ~ 10 |
| 热电偶类型 | K型 | |
| 支持热电偶类型 | J型、K型、T型、E型、R型、S型、B型、N型 | |
| 屏幕 | 13寸、分辨率：2880*1920 | 10寸、分辨率：1920*1280 |
| 数据采集速率 | 100ms ~ 450ms | |
部分应用案例
TC Wafer部分合作客户
嘉仪通科技 | jouleyacht
武汉嘉仪通科技有限公司是专注功能材料物性分析仪器，技术自主创新的高新技术企业。
