TC-Wafer校准仪

产品介绍 TC-Wafer校准仪，一款专注晶圆温场均匀性测量校准的辅助仪器。适配各类 RTP快速退火炉MOCVD、磁控溅射、刻蚀机、涂胶显影机等需要关注热均匀性测量的相关设备，特殊情况可按需定制。 应用功能 半导体制造工艺调校、RTP设备的测试验证、TC-Wafer的测试验证、相关晶圆热处理设备的测试验证,如CVD,PVD,Photo,等等 …… 产品特点 测温准确 温度偏差在±1.1℃以内、采集周期为200ms，能准确测量晶圆温场均匀性； 使用便捷 仪器集成度高，即插即用。测试记录完整数据，并能自动生成测试报告，支持U盘、蓝牙、无线网络等多种方式导出数据和报告； 显示直观 最多支持20路实时…