薄膜热电参数测试系统 MRS ,是专门针对薄膜材料的Seebeck系数和电阻率测量。
热电材料是一种新型的优质的功能材料,具有体积小、重量轻、无任何机械噪音、不造成任何环境污染等众多优点,常用来制备发电系统或制冷系统。为了进一步提高热电材料的转化效率(热电优值),对其研究从块体慢慢转移到薄膜材料。
热电参数测试仪专门针对薄膜材料的 Seebeck 系数和电阻率测量;
采用动态法测量Seebeck系数,避免了静态测量在温差测量上的系统误差,测量更准确;
采用四线法测量电阻率,测量更加稳定可靠;
采用微伏级别电压表,获得的测试参数更加精确;
可针对客户实际测试需求提供样品载台及腔室的定制化服务;
卡箍设计,方便进行样品更换,提高效率;
友好的软件系统,自动进行测试,并保存数据;
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设备系列 | MRS-3 | MRS-3RT |
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控温精度 | ±0.1K(样品温度,稳定后) | / |
测量范围 | Seebeck系数: |S|≥8µV/K 电阻率:0.1µΩ•m-106µΩ•m | |
最大升温速率 | 30K/min | / |
相对误差 | Seebeck系数:≤±7% 电阻率: ≤±10% | |
测试气氛 | 真空 | 空气 |
真空度 | ≤10Pa | / |
测量精度 | Seebeck系数:0.05µV/K 电阻率:0.05μΩ•m | |
样品尺寸 | 长:10mm~18mm;宽:2mm~7mm 厚:50nm~2mm |
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