电阻率是描述材料导电性能的物理量,它表示单位长度和单位截面积的导体在单位电场强度下的电阻。
对于薄膜材料,电阻率的大小与其微观结构、掺杂程度、温度等因素密切相关。薄膜电阻率的测量基于欧姆定律,即电阻与电流成正比,与电压成反比。通过测量薄膜上的电压和电流,我们可以计算出薄膜的电阻值,进而求得电阻率。
电阻率的测量方法有四探针法和范德堡法:
四探针法是一种常用的电阻率测量方法。该方法使用四个等间距的金属探针与材料表面接触,其中两个探针用于通入电流,另外两个探针用于测量电压。通过测量电流和电压的值,可以计算出材料的电阻率。
范德堡法是一种适用于测量材料电阻率的另一种方法。该方法利用范德堡电桥原理,通过在材料表面制作四个欧姆接触点,形成两个测量回路,从而测量出材料的电阻率。
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