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薄膜热导率测试系统

采用3ω测试方法检测微/纳米薄膜材料热导率

  • 温度范围:室温-500K
  • 测量范围:0.1-10W/(m•K)
  • 测试气氛:真空
  • 测量精度:≤±5%(Si衬底)
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