采用3ω测试方法检测微/纳米薄膜材料热导率
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薄膜热导率测试系统 TCT 是采用 3ω测试方法,利用微/纳米薄膜材料导热引起加热器电信号的变化来检测其热导率。主要应用范围为微/纳米薄膜材料的热导率测量,可广泛应用于辅助各种功能薄膜材料的研究与开发,其涵盖范围包括集成电路散热材料、热阻材料、热电材料、信息存储与光电材料等。
采用3ω测试方法,利用微/纳米薄膜材料导热引起加热器电信号的变化来检测其热导率;
不直接测量温度变化,而是通过测量材料在导热过程中温度的变化转换为电信号的变化,来实现微/纳米薄膜材料的热导率测试;
采用交流电加热方式,同时选择并优化设计加热电极的形状与尺寸,可确保加热均匀性及测试应用的广泛性;
待测薄膜样品材料尺寸极小,所以能有效减小黑体辐射引起的测量误差;
高精度数字源表并结合锁相放大技术,保证测量结果的准确性;
优化的加热电极的形状与尺寸设计,可保证加热均匀性及测试应用的稳定性……
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