长江存储顺利验收嘉仪通薄膜热导率测试系统TCT

长江存储经验收测试，嘉仪通薄膜热导率测试系统TCT功能要求和性能参数真实可信，测试精度及稳定性可以满足半导体材料电运输性能测量的实验需求。

以下为长江存储设备验收报告：

薄膜热导率测试系统TCT是采用3ω测试方法，利用微/纳米薄膜材料导热引起加热器电信号的变化来检测其热导率。主要应用范围为微/纳米薄膜材料的热导率测量，可广泛应用于辅助各种功能薄膜材料的研究与开发，其涵盖范围包括集成电路散热材料、热阻材料、热电材料、信息存储与光电材料等。

产品特点

不直接测量温度变化，而是通过测量材料在传热过程中温度变化引起的电信号变化来实现薄膜材料的热导率测试。  

高精度数字源表并结合锁相放大技术，保证测量结果的准确性。

优化的加热电极的形状与尺寸设计，可保证加热均匀性及测试应用的稳定性。