中国科学院北京纳米能源与系统研究所顺利验收嘉仪通1吋快速退火炉

2024年7月23日，中国科学院北京纳米能源与系统研究所顺利验收了一台由嘉仪通研发制造的1吋快速退火炉，这标志着和该校的合作迈上了一个新的台阶。

以下为设备验收报告：

中国科学院北京纳米能源与系统研究所此次采购的退火炉是用于合金化退火场景科研，对于设备的验收有着严格的标准和要求。交付的1吋快速退火炉，凭借其优秀的温度均匀性，控温精度以及快速升降温的速率等特点，得到了该所的高度认可。

快速退火炉RTP，是采用近红外辐射加热及冷技术，可实现实验样品的可控快速升温和降温，完成特定条件下的热处理工艺，同时可通过定制观察窗口，方便进行功能扩展，适合高校、科研院所、企业实验室等使用。

该产品广泛用于:强诱导体薄膜的结品化退火、注入离子后的扩散退火、半导体材料的烧成与退火条件研究、玻璃基板的均热退火、热循环试验与热冲击试验、升温脱离试验与触媒试验等。